芯上微装首台350nm步进光刻机正式发运，国产高端光刻家族再添新成员

转自：新华财经

新华财经上海11月26日电（林郑宏）据上海芯上微装科技股份有限公司11月25日消息，该公司自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）正式完成出厂调试与验收，启程发往客户现场，标志着我国在高端半导体光刻设备领域再次实现关键突破。

AST6200光刻机是芯上微装基于多年光学系统设计、精密运动控制与半导体工艺理解积淀，倾力打造的高性能、高可靠性、全自主可控的步进式光刻设备，专为功率、射频、光电子及Micro LED等先进制造场景量身定制。